RX-6_6B_6R_OperationManual1_Rev02_C.pdf - 第38页
操作手册 I 3-23 5. 在暂停状态下按［停止开关］后 会显示中断画面。 出现：生产重新开始 生产中断 4. 生产中按[停止开关]，会进入暂停 状态。 停止开关 *为了避免故障， 要进行安全罩的开闭时， 请按[安全罩解除锁定]按钮。 生产重新开始 生产中断
操作手册 I
3-22
Step6 执行生产。
在“基板生产”画面中设置“生产计划数量”，按下[开始开关]后，即开始生产。
警告
按下[开始开关]后，装置即开始移动。
为避免人身伤害，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
要使用 IFS-NX 的选项功能时，需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成
元件核对工作的情况下按下开始开关时，会显示警告画面，不能开始生产。
2. 输入「生产计划数量」。
设置用 IS 的生产计划数量时，会自动
设置计划数量。
不能输入。
3.按下[开始开关]后，开始生产。
1.
按下「确定」按钮，准备工作的各项
支援作业即告完成。
操作手册 I
3-23
5.在暂停状态下按［停止开关］后
会显示中断画面。
出现：生产重新开始
生产中断
4. 生产中按[停止开关]，会进入暂停
状态。
停止开关
*为了避免故障，
要进行安全罩的开闭时，
请按[安全罩解除锁定]按钮。
生产重新开始
生产中断
操作手册 I
3-24
Step7 结束生产画面。
1. 请按下信息区域的［退出］。
2. 没有保存生产程序时，会显示「确
认信息」画面。
选择「是」后，生产中变更的程序和
生产管理信息即可保存下来。