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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1-9 ◆ 打开安 全罩时，先把罩子 推上去， 再把锁杆向箭头（ LOCK ）方向推 ，锁好。 确认上了锁之后，再 放开手。 ﹡没有上好锁 就松手时， 安全罩有落下 来的危险。 ◆要关安全罩时，要 先解开锁， 再关闭。 把安全罩向上提， 再把锁杆向 OPEN 方向推，解锁。 （请注意，解锁时要 防止盖子落 下来受伤。 ） ﹡不要在安全 盖、 提手 等处过渡增加负荷。 LOCK （锁定）状态 O …
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-8
1-1-5 本装置的构成
①液晶监视器
②操作面板
③电源开关
④信号灯
⑤空气调节器
（后侧）
⑥带轨迹球的键盘
⑦ CD-ROM 驱动器
(
选购项
)
⑧真空泵
⑨漏电断路器
(后侧)
① ATC 单元
②
LNC60 Head
单元
③ OCC 单元(L)
④ X-Y 单元
⑤
基板传送单元
⑥
CAL
校准块单元
⑦ 供料器台架单元
⑧ HMS 单元
①
②
⑦
③
④
⑧
⑥
⑨
⑤
①
③
②
④
⑤
⑥
⑧
⑦
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-9
◆ 打开安全罩时，先把罩子推上去，
再把锁杆向箭头（LOCK）方向推，锁好。
确认上了锁之后，再放开手。
﹡没有上好锁就松手时，
安全罩有落下来的危险。
◆要关安全罩时，要先解开锁，再关闭。
把安全罩向上提，
再把锁杆向 OPEN 方向推，解锁。
（请注意，解锁时要防止盖子落下来受伤。）
﹡不要在安全盖、提手等处过渡增加负荷。
LOCK（锁定）状态 OPEN（打开）状态
＜开关安全罩时的注意事项＞
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1-10
1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
图 1-2-1 基板传送
①
IN
传感器
⑧挡块
2
⑮
C-OUT
传感器（
OP
）
②
OUT
传感器
⑨夹紧杆（基板固定用）
⑯等待传感器（
OP
）
③
STOP
传感器
⑩减压阀（夹紧杆用）
⑰自动调整基板宽度用马达（
OP
）
④
传送电磁阀
⑪支撑台
⑱障碍物检测传感器（
OP
）
⑤
传送马达
⑫支撑台
UP
传感器
⑲操作轴
⑥
驱动轴
⑬支撑台
DOWN
传感器
⑳操作柄
⑦
挡块
⑭支撑销
①
②
③
⑮
④
⑤
⑤
⑤
⑥
⑥
⑥
⑦
⑧
③
⑨
⑨
⑨
⑨
⑩
⑪
⑫
⑬
⑭
⑯
⑰
⑱
⑱
⑲
⑳
基板传送方向