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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 46 ● 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 内六角螺栓( M 6×95 ) 8 根 10 气缸密封圈 2 泵头盖 1 11 气缸 3 连接管 12 内六角螺栓( M 8×20 ) 4 O环 P- 10 13 碗型密封圈压板 5 泵头盖 2 14 碗型密封圈 6 密封圈 15 连杆 7 阀挡板 8 吸排气阀 9 气缸板

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1 基本篇 3 维护
3-45
更换碗型密封圈
1 拆下气缸。
2 拆下内六角螺栓(M8×20)
3 拆下碗型密封压板,更换新的碗型密封圈
请注意碗型密封圈的方向。要套进连杆。
4 更换后,以 12.0Nm 的力拧紧内六角螺栓(M8×20)
※请按照密封材料更换步骤实施盖(罩的安装。要更换其它消耗部件时,请不要关闭盖(罩,参
照各部位的更换步骤操作。
碗型密封圈压板
内六角螺栓
(M8×20)
碗型密封圈
1 基本篇 3 维护
3-46
真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1
内六角螺栓(M6×958
10
气缸密封圈
2
泵头盖 1
11
气缸
3
连接管
12
内六角螺栓(M8×20
4
O环 P-10
13
碗型密封圈压板
5
泵头盖 2
14
碗型密封圈
6
密封圈
15
连杆
7
阀挡板
8
吸排气阀
9
气缸板
1 基本篇 3 维护
3-47
3-9 管道系统图
1)管道系统图(主机)
a-正气压
厂气压
插头
状阀
气源处理联件
支管
压器
压器
压器
插头φ8
压计
Y三通接头
Head上升气缸
形接头
压器
形接头
HEAD 正压
送电磁
插头φ4
压弯头
压弯头
插头φ8
插头φ8
插头φ8
Y三通接头
MTS_IF面板
动气缸
前侧
Y三通接头
Y三通接头
架升降(OP)
带器(OP
Y三通接头
Y三通接头
OUT
IN
通接头
通接头
通接头
通接头
XPlarail
XPlarail
YPlarail
YPlarail
Y三通接头
ATC
CAL
压弯头
间推车气压
前侧
间推车气压
后侧
动气缸
后侧
OP
OP