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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-5 1) 请确认没有漏气 1 ）主机接通 电源后，请选择 「 手动控制 」项目，检查下列 各项目的动作 状况。 ① 基板挡块部 ② AT C 单元 手动控制 「 使用说 明书 第 9 章 手动控制」 在确认各项动作、检查 传感器的开／关 情况时，执行手 动控制模式。 2 ）如果动作 有问题，请参考 「 3-9 章 管 道系统图 」进行检查。 检查项目 3-2-3 管道及接头 实施频度 ：每周 检…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-4
更换间隔：每2年更换1次。或压力下降约0.1MPa（1kgf／C㎡）时。
更换方法
1）请关闭指状阀的旋钮。
2）一边降下滑动部分，一边将主体向左右任意一侧旋转 45 度，然后抽出。
3）将固定过滤器零件B的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆
下，拆卸过滤器零件A。
4）按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
注意
在开始作业前，请关闭指状阀的旋钮。
1） 请确认显示器画面的表示压力-87kPa 以上。
2) 负压表降低到-87kPa 时，需要更换消耗零件。
请按照「3-8-2 更换真空泵元件」进行消耗零件的检查、更换。
检查・更换 更换过滤器零件 更换标准 ： 2 年
检查项目
3-2-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容
确认真空压力
过滤器零件
A
PF901010000
树脂零件
滑动部
打开状态
关闭状态
过滤器零件
B
PF901006000
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3-5
1) 请确认没有漏气
1）主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② ATC 单元
手动控制 「使用说明书 第 9 章 手动控制」
在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。
2）如果动作有问题，请参考「3-9 章 管道系统图」进行检查。
检查项目
3-2-3 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容
检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-2-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容
检查各气缸的动作
检查漏气
＜左侧深处＞
指状阀
在功能栏上选择[手动控制]，
启动手动控制
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1) 请目视检查确认 Head 单元正面部过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2）请确认真空校准没有问题。
真空校准
「使用说明书 11-2-6 真空校准」
在主画面上选择「维护」→「机器自动校准」，
再执行「设置组」→「真空校准」。
执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。
3) 有脏污时，请更换新过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」（ 前 后 4 处）拧松，取下「过滤器箱 U①」。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」，要插到底，用「固定螺丝②」固定好。
（紧固力矩：0.7 N·m）
此时，请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
3-2-5 空气过滤器（LNC60 Head）
实施频度 ：每月
检查内容
检查空气过滤器脏污
更换
更换新的空气过滤器
使用工具
：螺丝刀
更换标准：
6
个月
过滤器③ 货号：40046646
①
②
③
④
⑤
「使用说明书 8-4-2 无吸嘴状态下真空值」
从主画面实施「机器设置」→「无吸嘴状态
下的真空值」
无吸嘴状态下真空值
①