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2-6 2  4 .  フ ィ ー ダ ー プ レ ー ト の 清 掃 フ ィ ー ダ ー プ レ ー ト を 付 属 の ブ ラ シ で 清 掃 し て く だ さ い 。 フ ィ ー ダ ー プ レ ー ト 上 に チ ッ プ や 異 物 が 落 ち て い る と 、 フ ィ ー ダ ー セ ッ ト を 行 う 際 に 噛 み 込 ん で し ま い 、 吸 着 位 置 の ズ レ を 発 生 さ せ る 原 因 と な り …

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2-5
2
3.
ノズル先端部を指で押す
元に戻る
戻りが悪い
戻らない
ノズルのバフィング状態
OK NG
42204-E5-00
ノズルホルダーのバフィング状態
ノズルホルダー
42205-E5-10
c
注意
ノズルホルダーのバフィングを確認する場合は、ノズルを外して行ってください。また、確認の結果ノズルホルダーのバフィン
グ状態が悪いときは「第 3 章2.1ノズルホルダーの清掃・給油」を実行してください。
2-6
2
4.
チップ
付着したチップ
清掃用ブラシ
フィーダープレートの清掃
42206-E5-00
2-7
2
5.
1
42207-E5-10
2
綿
綿
42208-E5-00
3
42209-E5-00
n
要点
ウエスはホコリの出ないものを使用してください。
参考
サイド照明付の照明(オプション)が有りますが、清掃方
法は同じように行ってください。
綿棒
Step 2
レンズクリーナー液を付けた綿棒
ウエス
Step 3
ホコリの出ないウエス
光学系ブラシ
Step 1
光学系ブラシ
フィデューシャルライト