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第 4 章 消耗品の交換方法 目次 1 . ノ ズ ル 板 バ ネ 4 - 1 2 . エ ア ジ ョ イ ン ト 4 - 2 3 . エ ジ ェ ク タ ー バ ル ブ 4 - 3 4 . フ ィ ー ダ ー バ ル ブ 4 - 4 5 . 基 板 搬 送 ベ ル ト 4 - 5

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4
上からエアブローします。
洗浄後、エアジョイント部にエアガンを差し込ん
でエアブローしてください。エアブローの際には
ヘッド先端をウエスで押さえてください。
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下からエアブローします。
エアジョイント部をウエスで押さえながらノズル
ホルダー部にエアガンを差し込んでエアブローし
てください。
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バフィング部に給油をし、動作を確認
します。
給油用シリンジでバフィング部にタービン油を塗
り、手で数回上下させてバフィング状態がスムー
ズであることを確認してください。
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余分な油分を拭き取ります。
ホコリのでないウエスを使って余分な油分を拭き
取ってください。
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上からエアブローして余分な油分を吹
き飛ばします。
Step4 と同じように、エアジョイント部にエアガ
ンを差し込んでスプラインシャフトをエアブロー
してください。エアブローの際にはヘッド先端を
ウエスで押さえてください。
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油分の除去状態を確認します。
任意で市販の油取り紙などを使用してエアブロー
を行い、スプラインシャフト内の残留油分の状態
を確認してください。
n
要点
通常、Step8の作業を行えば油分は除去されるはずです。残っ
ている場合はもう一度エアブローしてください。
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0
真空レベルを確認します。
ノズルを何も付けない状態で [ 装置 ] −「ヘッド」
タブ画面の [ バキューム ] ボタンを押して、吸着
を ON してください。真空レベルが 80 以下であ
ればスプラインシャフト内の清掃は完了です。
上からエアブローする
Step 4
エアガンエアジョイント
下からエアブローする
Step 5
ウエス
エアガン
残留油分の確認
Step 9
初回ブローを先端から5秒程度行う
と油分が出ます。
先端から5秒、取り付け側から
5秒程度のブローを繰り返します。
最終的に油分が出なければ終了です。
油取り紙

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4
1.ノズル板バネ
e
1
非常停止ボタンを押します。
作業を安全に行うために、必ずマシンを非常停止
状態にしてください。
2
ノズルを取り外します。
交換したい板バネに付いているノズルを手で外し
てください。
3
ノズル板バネを外します。
シャフトを後ろから押さえながら、プラス精密ド
ライバーでネジを外し、不良の板バネをノズルホ
ルダーから取り外してください。
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ノズル板バネを取り付けます。
シャフトを後ろから押さえながら、プラス精密ド
ライバーで取り付けネジを締めてください。この
とき、ワッシャーを付け忘れないでください。
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取り付け状態を確認します。
1. 板バネとノズルの隙間を確認します。
2. ノズルの脱着を手で数回繰り返し、緩みがな
いか確認します。
参考
・板バネは、軽く上に押しながら取り付けてください。
・板バネは、左右に振れないように取り付けてください。
板バネを取り外す
Step 3
ノズル板バネ
固定用ワッシャー
ノズルホルダー
ノズル板バネ
固定用ネジ
板バネの取り付け
Step 4
ここを押さえながら取り付ける
上に押す 左右に振れない
