RX-6 操作说明书.pdf - 第16页
操作手册 I 3-1 3 作业步骤 3-1 生产流程 No 流程图 作业人员 备注 1 操作员 确认主气压， 检查 AT C 周 围没有异物等后 ，再 接通电源。 2 执行返回原点前，确认装置内部没有异物等 。 3 节假日后或在 寒冷地区 ，必须执 行预热。 （预热约 10 分钟 ) 。 4 生产基板变更时 ，按照基板尺寸 ， 调整基板传送 部位 。 5 程序员 管理者 制作生产所必须 的 各种 数据，完成程 序。 6 操作员 使用「支…
操作手册 I
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软键盘的输入
方法
本装置使用信息区域的软键盘输入数值及字符。
◆软键盘的使用方法
① 变更键的类型
② 输入方法
点击所要输入的数据位置，在光标对准输入焦点的状态下，用软键盘输入。
有输入焦点时，会变为浅蓝色。
<移动键>
<数字键>
<字符键>
2.
点击按钮，即可切换键的类型。
1. 点击键盘选项卡。
操作手册 I
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3
作业步骤
3-1
生产流程
No 流程图 作业人员 备注
1
操作员
确认主气压，检查 ATC 周围没有异物等后，再
接通电源。
2
执行返回原点前，确认装置内部没有异物等。
3
节假日后或在寒冷地区，必须执行预热。
（预热约 10 分钟)。
4
生产基板变更时，按照基板尺寸，调整基板传送部位。
5
程序员
管理者
制作生产所必须的各种数据，完成程序。
6
操作员
使用「支援准备」功能，依次进行各项准备和设置。
7
8
9
10
电源 ON
返回原点
预热
安装基板
编辑程序
生产准备
生产
生产结束
电源 OFF
日常检查
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操作概要
Step1
接通主机电源。
警告
1.
执行返回原点时，请绝对不要把手和头部等伸进装置内部。
2.请确认装置内部没有扳手等干扰 Head 的物品。
3.请在安全罩关闭的状态下进行返回原点。
4.
请做好随时按紧急停止按钮的准备。
3.
主机的软件启动后，画面上即显示返回原点的
提示信息。
请按「确定」。
全轴开始移动，返回原点。
1. 请确认设备内部没有放置基板或工具等物品。
2.
把主开关向右旋转 90 度。
＜电源 OFF＞ ＜电源 ON＞
4.
点击信息区域，确认压力。
①Air Pressure＜压力＞ ： 500±50 kPa
②Vacuum＜负压＞ ： -90kPa
以上