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操作手册 I 4- 55 (2) 管道系统图（ Hea d ） 过滤器 吸嘴 压力 传感器 V ：来自负压（ φ 8 ）真空泵 V ：来自负压（ φ 8 ）真空泵 P ：来自正压（ φ 8 ）真空泵 大气开放 检查阀 P ：来自正压（ φ 6 ）空气单元 气缸 气缸