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NPM-D 安装篇 1.2 设置步骤 EJM1DC-MB-01I-00 Page 1-25 2. 请确认真空状态。 ∗ 如果吸嘴座不抽空气，却喷出空气的 话，有可能真空泵电机在逆 旋转。需要重新确认一次侧 电源 的配线。 真空状态的确认顺序 投入电源后系统将会自动确认真空泵 电机的相位。 如果显示错误画面，请确认所显示的 内容，然后确认一次侧电源 的各相 (L1 、 L2 、 L3) 的连接。 主电源开关的锁定、标记牌 1 将主…
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1.2
设置步骤
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1.2.8
确认电源、空气源的连接
配线、连接作业完了后，请按照如下顺序确认连接是否正确。
1.
请确认供电电压与贴在本机上的供电电压显示标牌的电压相一致。
1
拆下本机前面的右侧面盖。
∗
此盖用螺栓固定
4
处。
2
如左图所示，确认供给电源
(3
处
)
的
电压与贴在本机上的供电电压显示标
牌的电压相一致。
∗
关于一次侧电源电压的条件，请参照
“1.1.4
电
源、空气源
第
3
项
”
。
EJM4A-AA
盖
主电源端子
L1 L2 L3 PE
主电源端子
L1 L2 L3 PE
主电源端子
L1 L2 L3 PE
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2.
请确认真空状态。
∗
如果吸嘴座不抽空气，却喷出空气的话，有可能真空泵电机在逆旋转。需要重新确认一次侧电源
的配线。
真空状态的确认顺序
投入电源后系统将会自动确认真空泵电机的相位。
如果显示错误画面，请确认所显示的内容，然后确认一次侧电源的各相
(L1
、
L2
、
L3)
的连接。
主电源开关的锁定、标记牌
1
将主电源开关置于
OFF
。
(
确认是否已处于
OFF
。
)
2
锁上主电源开关，并保管好钥匙。
3
确认工厂方面的供电电压。
∗
有可能未照下图连接。请确认一次电源的连接。
EJM4A-AA01
电源供给用
4
芯电缆
L1 L2 L3 PE
L1
L2 L3
PE
L2
L1
L3
PE
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1.2.9
序列号的确认
请按以下顺序确认机械的序列号。
1.
按
。
2.
按
。
3.
按
。
4.
按
[
信息
]
。
5.
核对画面的序列号和产品铭板的序列
号。
∗
请确认画面上显示的序列号和贴在盖上的铭板
序列号是否一致。
UnitVerWholeInfo-01E50
1
2
3
4
序列号
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗∗∗∗∗∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗∗
∗
∗∗∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
∗
NPM-D
NM-EJM1D
∗
∗
∗
序列号
产品铭板
注
)
在
∗
处记载数值