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NPM-D3A EJM6EC-MB-05 O-01 单元调整 操作篇 5-2-7 真空输出确认 空气流量值 吸嘴的空气流量值。 1 切换阀门，对于真空、吹气时的动作 是否正常进行个别确认。 ● 都需要进行。 确认真空、吹气时的空气流量值 + 1 ■真空泵设定为 ON 或 OFF 时 ( 真空泵切换为 ON 或 OFF) + ■把真空泵设定为 ON ，只把指定吸嘴的 真空泵设定为 ON 或 OFF 时 ( 下面显示真空压 ) + ■把真空…

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(在取下吸嘴的状态下，测量各贴装头的
气压和真空压)
+
5-2-6-2
■气压和真空压的测量正常结束时
将在 中显示“清扫吹气完毕”
的信息。
F
4
3
3
4
H
+
(将显示各吸嘴的吹气确认结果)
●测量值只显示传感器值。
■在没有异常的情形下结束了吹气确认时
将在 中显示“吹气检查结束”的
信息。
F
H
pos按钮
在动作次数为10次下实施了真空确认或
吹气确认时，转为有效。按下各个pos按
钮，将如下图所示显示吸嘴位置的测量
结果窗口。
■显示真空确认传感器的值时
■显示吹气确认传感器的值时
■关闭窗口时
■气压和真空压的测量发生异常时
确认提示
(异常吸嘴的测量值背景会显示黄
色。)
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单元调整
操作篇
5-2-7
真空输出确认
空气流量值
吸嘴的空气流量值。
1
切换阀门，对于真空、吹气时的动作是否正常进行个别确认。
● 都需要进行。
确认真空、吹气时的空气流量值
+
1
■真空泵设定为ON或OFF时
(真空泵切换为ON或OFF)
+
■把真空泵设定为ON，只把指定吸嘴的
真空泵设定为ON或OFF时
(下面显示真空压)
+
■把真空泵设定为ON，只把指定吸嘴
的真空破坏泵设定为ON或OFF时
(上面显示真空破坏时的压力)
+
BA C
A
B
C
■清扫吹气设定为ON或OFF时
(清扫吹气泵切换为ON或OFF)
真空泵
真空破坏泵
●5-2-6 通过8BIT换算来显示。
B C
5-2-7-1
B
C
：“传感器值” ：“堵塞”
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5-2-7-2