NPM-D3A 操作.pdf - 第447页
NPM-D3A EJM6EC-MB-05O-0 1 5-2-7 -2
NPM-D3A EJM6EC-MB-05O-01
单元调整
操作篇
5-2-7
真空输出确认
空气流量值
吸嘴的空气流量值。
1
切换阀门，对于真空、吹气时的动作是否正常进行个别确认。
● 都需要进行。
确认真空、吹气时的空气流量值
+
1
■真空泵设定为ON或OFF时
(真空泵切换为ON或OFF)
+
■把真空泵设定为ON，只把指定吸嘴的
真空泵设定为ON或OFF时
(下面显示真空压)
+
■把真空泵设定为ON，只把指定吸嘴
的真空破坏泵设定为ON或OFF时
(上面显示真空破坏时的压力)
+
BA C
A
B
C
■清扫吹气设定为ON或OFF时
(清扫吹气泵切换为ON或OFF)
真空泵
真空破坏泵
●5-2-6 通过8BIT换算来显示。
B C
5-2-7-1
B
C
：“传感器值” ：“堵塞”
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5-2-7-2
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单元调整
基板的传送确认
选择基板长度。
(传送带上有基板时，会显示位置)
对基板的传送动作是否正常进行确认。
●使用双轨模式时，事先选择轨道。
1
B
+
选择传送速度。
A
■没有来自后工序的要求信号而传出
时
成为有效。
(基板被传送到选择位置)
2
+
传送
■传入到设备内时
+
■传出到设备外时
A 1B
2
操作篇
5-2-8
5-2-8
■单轨模式的情况下
C
■双轨模式的情况下
C
D
传感器
显示基板传感器的状态。
搬送位置
显示现在是否有基板。
D
50.00－250.00mm
■短规格时
250.01－260.00mm
260.01－460.00mm
50.00－160.00mm
■长规格时
160.01－250.00mm
250.01－350.00mm
350.01－510.00mm