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安全にお取扱いいただくために 据付け時の注意 設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の原因 にもなります。 設置の際には、以下に示す各項目にしたがって正しい環境を確保してください。 装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロジー ズの営業部門または販売代理店にご相談ください。 装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。 ノート 装置の据付け場所は 1 階を推奨します。 1…
安全にお取扱いいただくために
6. 正しくお使いいただくための注意事項
設置条件
本装置をより安全にお使いいただくために、以下の設置条件を守ってください。
•
過電圧カテゴリー ： カテゴリーⅢ
•
汚染度 ： 3
過電圧カテゴリー (Overvoltage Category) とは、装置が直接接続されてい
る電源受電部において発生する衝撃電圧の大きさの度合いを表します。
カテゴリーⅢ ： 大きな過電圧の発生が予想されるトランスの一次回路、
一般工場の配電盤に永続的に接続される装置です。
ノート
設置カテゴリー Installation Category から過電圧カテゴリー
Overvoltage Category に用語が変更されました。
汚染度 (Pollution Degree) とは、装置が使用される環境の汚染度合いを表
します。
汚染度 3 ： 汚染となる導電物質があり、それらが装置への影響をも
たらすと考えられる ( たとえば、一般工場など ) 環境で、
本装置が使用されることを意味します。
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安全にお取扱いいただくために
据付け時の注意
設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の原因
にもなります。
設置の際には、以下に示す各項目にしたがって正しい環境を確保してください。
装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロジー
ズの営業部門または販売代理店にご相談ください。
装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。
ノート
装置の据付け場所は 1 階を推奨します。
1 階以外に据付ける場合は、株式会社日立ハイテクノロジーズの営業部
門または販売代理店にご相談ください。
著しい振動がない場所であること。
周囲温度が 20
±
10
°
C であること。
また、湿度が 30 ～ 80% の範囲にあり、結露しない場所であること。
装置を現在の装置表面温度より高い温度の環境に搬入 / 搬出する場合は、以下の
条件により結露するおそれがあります。
結露すると、装置が故障する原因となりますので注意してください。
結露の条件
“搬入 / 搬出の湿度 (%)”を基準にすると、“搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度
との差”が、以下の値以上になると結露のおそれがあります。
搬入 / 搬出の湿度 (%) 搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度との差
80 3 ℃以上
70 6 ℃以上
60 8 ℃以上
50 10 ℃以上
40 14 ℃以上
30 18 ℃以上
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電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
油煙またはほこりがない場所であること。
水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また
は基板排出部のコンベア開口部が大きい場合には、隙間ができないように、
お客様において処置を施してください
供給電源について
本体装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
•
電圧 ： 3 相 AC 200V
±
20V
• 皮相
電力 ： 約 8 kVA 以下
電圧が変動したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼす
ばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
1 次電源の準備および接続は、貴社にて対応願います。
•
装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン (PE) を接続し
てください。
•
接地 (PE) は、D 種接地工事 ( 旧第 3 種接地工事 ) 以上としてください。
•
接地ラインは、他のケーブル (L1、L2、L3) よりも余裕をもった長さで接続
してください。
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