PXH-1 5OM-1321-002_w.pdf - 第84页

2 - 23 Tg 1301 -ID-MD メカ周り部レイアウト 3 メカ周り部レイアウト 3 0602 - 001 -(M 831 YK--- 1003 )

2-22

Tg1301-ID-MD

0602-001-(M831YK---1002)

メカ周り部レイアウト 2

メカ周り部レイアウト 2

Table 5C12

記　　号名　　　　　称

B46 基板認識 Y 軸インタロック

B331 基板認識 Y 軸原点

B334 基板認識 Y 軸回転原点

2-23

Tg1301-ID-MD

メカ周り部レイアウト 3

メカ周り部レイアウト 3

0602-001-(M831YK---1003)

2-24

Tg1301-ID-MD

メカ周り部レイアウト 4

メカ周り部レイアウト 4

0602-001-(M831YK---1004)