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安全にお取扱いいただくために 電気ノイズなどが入らない場所であること。 装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し てください。 可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。 油煙またはほこりがない場所であること。 水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。 メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。 前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板…
安全にお取扱いいただくために
据付け時の注意
設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の原因
にもなります。
設置の際には、以下に示す各項目にしたがって正しい環境を確保してください。
装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロジー
ズの営業部門または販売代理店にご相談ください。
装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。
ノート
装置の据付け場所は 1 階を推奨します。
1 階以外に据付ける場合は、株式会社日立ハイテクノロジーズの営業部
門または販売代理店にご相談ください。
著しい振動がない場所であること。
周囲温度が 20
±
10
°
C であること。
また、湿度が 30 ～ 80% の範囲にあり、結露しない場所であること。
装置を現在の装置表面温度より高い温度の環境に搬入 / 搬出する場合は、以下の
条件により結露するおそれがあります。
結露すると、装置が故障する原因となりますので注意してください。
結露の条件
“搬入 / 搬出の湿度 (%)”を基準にすると、“搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度
との差”が、以下の値以上になると結露のおそれがあります。
搬入 / 搬出の湿度 (%) 搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度との差
80 3 ℃以上
70 6 ℃以上
60 8 ℃以上
50 10 ℃以上
40 14 ℃以上
30 18 ℃以上
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安全にお取扱いいただくために
電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
油煙またはほこりがない場所であること。
水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また
は基板排出部のコンベア開口部が大きい場合には、隙間ができないように、
お客様において処置を施してください
供給電源について
本体装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
•
電圧 ： 3 相 AC 200V
±
20V
• 皮相
電力 ： 約 8 kVA 以下
電圧が変動したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼす
ばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
1 次電源の準備および接続は、貴社にて対応願います。
•
装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン (PE) を接続し
てください。
•
接地 (PE) は、D 種接地工事 ( 旧第 3 種接地工事 ) 以上としてください。
•
接地ラインは、他のケーブル (L1、L2、L3) よりも余裕をもった長さで接続
してください。
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エアについて
本体装置には、空気圧が 0.39 ～ 0.69 MPa (4 ～ 7 kgf/cm
2
) で、水分、油分およ
び塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してください。
水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な動作
をしなくなるおそれがあります。
ノート
ドライクリーンエアとは
水 分 ： 露点 -17
°
C 以下 ( 大気圧 )
油 分 : 0.1mg/
m
3
以下 (ANR)
ダスト : 固形物 0.01
µ
m 以下
データのバックアップについて
装置の故障や誤操作などで、データが使えなくなる場合があります。 万一に備え
て、コンパクトフラッシュカードの内容をネットワークターミナル ( オプショ
ン ) に定期的にバックアップしてください。
コンピュータウィルスについて
プログラムやデータが急に壊れたり、予測できない動作をしたり、操作パネルに
異常な画面が表示されるときは、コンピュータがコンピュータウィルスに感染し
た可能性があります。コンピュータウィルスとは、コンピュータに密かに侵入し、
コンピュータを勝手に動かしたり、データを破損する悪質なプログラムのことで
す。また、そのようなコンピュータウィルスを除去するプログラムをワクチンプ
ログラムといいます。コンピュータウィルスが感染したコンピュータからの通信
やコンピュータウイルスに感染した記録媒体を介してコンピュータウィルスが感
染することがあります。装置内蔵のコンピュータがコンピュータウィルスに感染
するおそれのある場合は、ワクチンプログラムでチェックしてください。ただし、
ワクチンプログラムの種類によって、コンピュータのウィルスを取り除くことが
できないことがあります。このような場合のためにも、事前にデータのバックアッ
プを必ずとっておいてください。
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