PXH-1 5OM-1321-002_w.pdf - 第83页

2 - 22 Tg 1301 -ID-MD 0602 - 001 -(M 831 YK--- 1002 ) メカ周り部レイアウト 2 メカ周り部レイアウト 2 Table 5C12 記号名称 B46 基板認識 Y 軸インタロック B331 基板認識 Y 軸原点 B334 基板認識 Y 軸回転原点

2-21

Tg1301-ID-MD

メカ周り部レイアウト 1

0602-001-(M831YK---1001)

メカ周り部レイアウト 1

2-22

Tg1301-ID-MD

0602-001-(M831YK---1002)

メカ周り部レイアウト 2

Table 5C12

記　　号名　　　　　称

B46 基板認識 Y 軸インタロック

B331 基板認識 Y 軸原点

B334 基板認識 Y 軸回転原点

2-23

Tg1301-ID-MD

メカ周り部レイアウト 3

0602-001-(M831YK---1003)