PXH-1 5OM-1321-002_w.pdf - 第81页

2 - 20 Tg 1301 -ID-MD 排出コンベア部レイアウト 0602 - 001 -(M 831 YH--- 1002 ) 排出コンベア部レイアウト Table 5C11 記号名称 B44 基板到達確認 B45 基板通過確認 B391 R コンベアレール幅オーバラン（+） M03 R コンベアモータ M39 R コンベア幅パルスモータ

2-19

Tg1301-ID-MD

供給コンベア部レイアウト

0602-001-(M831YH---1001)

供給コンベア部レイアウト

Table 5C10

記　　号名　　　　　称

B40 基板移載確認

B41 基板検出

B371 L コンベアレール幅オーバラン（+）

M02 L コンベアモータ

M37 L コンベア幅パルスモータ

2-20

Tg1301-ID-MD

排出コンベア部レイアウト

0602-001-(M831YH---1002)

排出コンベア部レイアウト

Table 5C11

記　　号名　　　　　称

B44 基板到達確認

B45 基板通過確認

B391 R コンベアレール幅オーバラン（+）

M03 R コンベアモータ

M39 R コンベア幅パルスモータ

2-21

Tg1301-ID-MD

メカ周り部レイアウト 1

0602-001-(M831YK---1001)

メカ周り部レイアウト 1