PXH-1 5OM-1321-002_w.pdf - 第79页
2 - 18 Tg 1301 -ID-MD 基板認識レイアウト 0602 - 001 -(M 831 YG--- 1001 ) 基板認識レイアウト Table 5C9 記 号 名 称 B68 基板ストッパ上限 B69 基板認識 B6A （基板 2 枚検出） B351 基板認識 X 軸原点 B353 基板認識 X 軸オーバラン（-） B354 基板認識 X 軸回転原点 M35 基板認識 X 軸パルスモータ M33 基板認識 Y 軸パルスモ…
2-17
Tg1301-ID-MD
スクリーンホルダ部レイアウト
0602-001-(M831YF---1001)
スクリーンホルダ部レイアウト
Table 5C8
記 号 名 称
B291 スクリーン Y 軸原点
B294 スクリーン Y 軸回転原点
M27 スクリーン Y 軸パルスモータ
B6F スクリーンクランプ解除確認
2-18
Tg1301-ID-MD
基板認識レイアウト
0602-001-(M831YG---1001)
基板認識レイアウト
Table 5C9
記 号 名 称
B68 基板ストッパ上限
B69 基板認識
B6A （基板 2 枚検出）
B351 基板認識 X 軸原点
B353 基板認識 X 軸オーバラン（-）
B354 基板認識 X 軸回転原点
M35 基板認識 X 軸パルスモータ
M33 基板認識 Y 軸パルスモータ
Y78 基板反り上押え上限電磁弁
Y79 基板ストッパ電磁弁
2-19
Tg1301-ID-MD
供給コンベア部レイアウト
0602-001-(M831YH---1001)
供給コンベア部レイアウト
Table 5C10
記 号 名 称
B40 基板移載確認
B41 基板検出
B371 L コンベアレール幅オーバラン（+）
M02 L コンベアモータ
M37 L コンベア幅パルスモータ