PXH-1 5OM-1321-002_w.pdf - 第73页
2 - 12 Tg 1301 -ID-MD 基板チャック部レイアウト 2 0602 - 001 -(M 831 YE--- 1002 ) 基板チャック部レイアウト 2 Table 5C4 記 号 名 称 B48 基板横クランプ前進限 B49 幅異常検出（投光側） B251 レール軸オーバラン（+）
2-11
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 1
0602-001-(M831YE---1001)
基板チャック部レイアウト 1
Table 5C3
記 号 名 称
B48 基板横クランプ前進限
B49 幅異常検出（投光側）
2-12
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 2
0602-001-(M831YE---1002)
基板チャック部レイアウト 2
Table 5C4
記 号 名 称
B48 基板横クランプ前進限
B49 幅異常検出（投光側）
B251 レール軸オーバラン（+）
2-13
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 3
0602-001-(M831YE---1003)
基板チャック部レイアウト 3