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NPM-W 2 EJM7DC-MB-06M-05 对基板传送带的润滑脂添加方法进行 说明。 使用工具 : 润滑脂枪 所需时间 :20 分钟 ●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠 、线性导轨、滚珠花键添加润滑 脂。 ●对交换台车侧加以说明。请卸下供料器后进行作业 。 ( → P.14-8) ●建议在双轨模式下进行作业。 ( → P.11 -3-1) 维修保养篇 6-1 基板传送带的润滑脂添加 1 6-1 -1 卸下交换台车 ( → P.3-2…
6 定期检查
每560小时保养
NPM-W2
EJM7DC-MB-06M-05
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具:润滑脂枪 所需时间:20 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键添加润滑脂。
●对交换台车侧加以说明。请卸下供料器后进行作业。(→ P.14-8)
●建议在双轨模式下进行作业。(→ P.11-3-1)
维修保养篇
6-1
基板传送带的润滑脂添加 1
6-1-1
卸下交换台车
(→P.3-2)
1
3
2
●事先确认不存在支撑销。
5
OFF
SERVO
4
6
确认提示
把供料器工作台盖
往内推
●请不要倚靠在供料器工作台
盖上，或者在盖上放置物品。
ACTIVATION
ACTIVATION
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EJM7DC-MB-06M-05
6-1-2
每
5
6
0
小
时
保
养
7
顺序
8
定
期
检
查
向线性导轨注油
■单轨传送带
■双轨传送带
●向线性导轨的轨道直接涂抹润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100
线性导轨线性导轨
线性导轨
线性导轨