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NPM-W 2 EJM7DC-MB-06M-05 4 从安全盖卸下过 滤器进行清扫 ● 使用气枪。 ● 请勿使用有机溶剂。 过滤器 5 把过滤器安装在 安全盖上 取出过滤器芯进行清扫 ① 分解过滤器单元。 ② 使用气枪，清除过滤器芯的 灰尘。 ( 请勿使用有机溶剂 ) ③ 把过滤器单元组装成原样。 6 贴装头 过滤器芯 O 型环 过滤器盒 圆环 真空泵 6-7 -2 3 卸下安全盖 ● 螺丝 (6 个 ) ( 后侧 ) 安全盖 每 5 …
NPM-W2
EJM7DC-MB-06M-05
对真空泵过滤器的清扫方法进行说明。
使用工具:六角扳手(4 mm) 所需时间:30分钟
●作业过程中，注意不要碰撞到头。
7
安装安全盖
6-7-1
安全盖
2
卸下后侧的交换台
车或者托盘供料器
●拆卸方法
・交换台车时
(→P.3-2)
・托盘供料器时
(→P.14-8)
8
安装后侧的交换台
车或者托盘供料器
●安装方法
・交换台车时
(→P.3-2)
・托盘供料器时
(→P.14-8)
●螺丝(6个)
(后侧)
维修保养篇
6-7
4
1
主电源开关置于OFF，
上锁
9
解锁
ON
真空泵过滤器的清扫
NPM-W2
EJM7DC-MB-06M-05
4
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
5
把过滤器安装在
安全盖上
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
6
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵
6-7-2
3
卸下安全盖
●螺丝(6个)
(后侧)
安全盖
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
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EJM7DC-MB-06M-05
对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具:不要 所需时间:2 分钟
●请事先执行原点复归操作。
安全开关的检查
6-8-1
维修保养篇
6-8
紧急停止开关的检查
1
3
2
2
按前侧的紧急停止开关。
按后侧的紧急停止开关，并确认画面
与前侧相同地过渡到新画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
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