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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2- 51 生产数量 选择 窗口 - 生产状态 ( 扩 大 ) ,即显 示生产 数量画面 。 放大显示 基板数量 。 ・ 生产数量 1) 放大显示项 目 使用大字符显示 项目。 No. 项目 内容 1 基板 数量 显示「 基板的实际生产 数量 / 计划生产数量」 。 操作选项的 [ 生产 ( 显示 )] 选项卡中的 [ 倒计基板生产数量 ] 项被选 中时,显示「 剩余基板 的数量/ 计划生产 的基板…

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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
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动作状态
选择窗口-生产状态(动作),即显示动作状态画面。
显示生产进行中的动作。
・动作状态
1) 生产状态项目
与生产状况的项目相同。详情请参见「2-8-3-1 生产状况」。
2) 生产信息项目
与图像的项目相同。详情请参见「2-8-3-2 图像」。
3) 生产动作项目
与图像的项目相同。详情请参见「2-8-3-2 图像」。
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
2-51
生产数量
选择窗口-生产状态(扩大),即显示生产数量画面。
放大显示基板数量。
・生产数量
1) 放大显示项目
使用大字符显示项目。
No.
项目
内容
1 基板数量
显示「基板的实际生产数量
/
计划生产数量」。
操作选项的[生产(显示)]选项卡中的[倒计基板生产数量]项被选
中时,显示「剩余基板的数量/计划生产的基板数量」。
双通道生产时,将显示前后通道的合计。
2) 生产状态项目
与动作状态的项目相同。详情请参见「2-8-3-3 动作状态」。
3) 生产信息项目
与图像的项目相同。详情请参见「2-8-3-2 图像」。
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
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供应装置
显示生产中的供料器的状态。
供给装置为 TR5SNK 时,显示以下信息。