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第1部 基本篇 第4章 生产程序制作 10) 跟踪时的自动示教 跟踪暂时停止时，可以进行自动示教。 自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。 ① 尺寸异常时 空洞指的是凹进部分里有元件。 空洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时， 会显示如下错误提 示。 浓度异常时 异常时，会显示如下错误提示。 ③中心偏移时 据与自动示教矫正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。 ② 空洞外周浓度 设置的吸取数 4-240
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
8) 跟踪时的 SOT 方向检查(可选项)
在跟踪暂停时，可进行SOT方向检查。
在SOT方向检查中，显示如下画面。
图 4-5-4-4-4-10
SOT方向检查后，检查结果以“OK”或“NG”来显示。
9) 跟踪时的验证检查(可选项)
在跟踪暂停时，可进行验证检查。
进行元件验证时，显示如下画面。
图 4-5-4-4-4-11
验证检查后，检查测定值及结果以“OK”或“NG”来显示。
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第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
10) 跟踪时的自动示教
跟踪暂时停止时，可以进行自动示教。
自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。
① 尺寸异常时
空洞指的是凹进部分里有元件。空洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时，会显示如下错误提
示。
浓度异常时
异常时，会显示如下错误提示。
③中心偏移时
据与自动示教矫正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。
②
空洞外周浓度
设置的吸取数
4-240
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
④ 空洞边界检查失败时
空洞边界检查失败时，显示如下错误提示。
⑤ 因自动示教出现同时吸取偏移时
出现同时吸取偏移时，显示如下。
要精度优先请按[是]，速度优先请按[否]。
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