SM471PLUS_Admin(Chi_Ver2.3).pdf - 第388页
13-60 Fast Chip Shooter SM471 PLUS Admini st rator’s Guide 10. 自动执行 Cali bration 后完成 Calibration 则如下图显示结果值， 请点击 < 下个 > 按 钮。 1 1. 显 示 ” 下一步 , 把校 校 正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下移动。 移动后 , 用手取下工具。 ” 消息。 为 了在磁头 1 号的吸嘴 支 …
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Machine Calibration
7. 那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示” 准
备标准。
8. 对于标准，点击 [下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞行相机
1”点击 <亮度>按钮，在”亮度控制”对话框中SMVison显示的CNT20吸嘴上的
Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
9. 校正是：用飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放到
ANC顶面的校正 Tool位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2点。
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Fast Chip Shooter SM471 PLUS Administrator’s Guide
10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
11. 显示 ”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击 <下个> 按钮。
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Machine Calibration
12. 请按照对磁头 1的校正方法，同样地从Head 2~10执行校正。
对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。
13. <Gantry>组合框中选择Gantry2后，与Gantry1相同的方式执行校正。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 22.85~23.81 (μm/pixel)
ScaleY: 22.85~23.81 (μm/pixel)