SM471PLUS_Admin(Chi_Ver2.3).pdf - 第389页
13-61 Machine Cal ibration 12. 请 按 照对磁头 1 的校正方法， 同样地从 Head 2~10 执行校正。 对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。 13. < Gantry> 组合框中选择 Gantry2 后， 与 Gantry1 相同的方 式执行校正。 结果值在 System Setup 菜单的 Camera 对话框 中 可以确认。 备 注 飞行相机的校正基准值为如下 FOV …
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10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
11. 显示 ”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击 <下个> 按钮。
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Machine Calibration
12. 请按照对磁头 1的校正方法，同样地从Head 2~10执行校正。
对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。
13. <Gantry>组合框中选择Gantry2后，与Gantry1相同的方式执行校正。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 22.85~23.81 (μm/pixel)
ScaleY: 22.85~23.81 (μm/pixel)
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13.3.10.7. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。 为校正飞行相机中心和Head Spindle
中心的 Offset，必须先行Fly Camera Calibration和 Head Z Offset Calibration 应该使用
特制的器具(Calibration Tool)。
使用Head的Reference Fiducail Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的Reference Fiducial Mark，在System Setup菜单的Camera对话框中进
行设置。Default值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC1号孔中插入CN400吸嘴。选择<自动下一步>
校验框后，
2. 点击<13. Fly Camera Offset> 按钮，则对选择的 Gantry自动执行校正。选择 <没
有实际运动（手动）>校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，并点击<
下个>进入下一个阶段。不选 <自动
下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任
何校验框的状态下执行校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点
击<下个>按钮才能执行下一个阶段。点击<13. Fly Camera Offset>按钮则显示”
首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。将Z轴调制低处，点击[下一步]”消
息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z轴请点击<下个>按
钮。
3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有Z轴。此时，请手动除
去已贴装的所有吸嘴。
4. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。 在磁头1号的吸嘴槽上手动贴装CN400吸嘴后点击<
下个> 按钮。