SM471PLUS_Admin(Chi_Ver2.3).pdf - 第395页
13-67 Machine Cal ibration 9. 自动执行校正后。 结束校正则如下图显示结果值。 10. 请 按 照对磁头 1 的校正方法， 从 Head 2~10 号执行校正。 对所有磁 头正常完成 Calibration 次序， 则 如下图显示结果值。
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5. 显示 “调整工具移动到中心位置。移动，点击[下一步].” 消息。 为了把Head
Assembly移动到ANC上的Calibrration Tool位置，请点击<下个>按钮。
6. 显示 “排列高度上升，镜像关闭移动，点击[下一步]” 消息。 请点击<下个>按
钮。
7. 那么, Head 1上升到飞行相机的 Align 高度，关闭 Mirror。还有在消息窗显示”准
备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息 。 此时点击<亮度>后在 “亮度控制” 对
话框中’SMVision’ 窗口显示的Calibration Tool上的 Fiducial Mark明显为止调整
照明亮度后点击<下个>按钮。
8. 校正首先旋转45度校正 Tool的同时用飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial
Mark 2点。之后把校正 Tool位于ANC顶面的校正 Tool位置后，用基准相机识别
校正 Tool上面的Fiducial Mark 2点。
之后，重新Pick旋转90度放置于此位置后，用基准相机识别校正 Tool上面的
Fiducial Mark 2点。用此方法对一个Head以90度为单位进行旋转测量0度、90
度、180度、270度的四个方向。
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Machine Calibration
9. 自动执行校正后。结束校正则如下图显示结果值。
10. 请按照对磁头1的校正方法，从Head 2~10号执行校正。对所有磁头正常完成
Calibration 次序，则如下图显示结果值。
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11. 完成对 Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在Fly-Fix Offset对话框中确认。
备 注 Fly to Fix Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.050 ~ 0.050(mm)
Offset Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset 的校正基准值如下。
Offset X : -0.020 ~ 0.020(mm)
Offset Y : -0.020 ~ 0.020(mm)