CPP715A200_YSi Prog V3_C.pdf - 第215页
4-31 4 提取范围 测定基准高度的方法从“检查框内”或“基板颜色”中选择。 ■ 检查框内 将检查框内的高度作为基准高度。 设置方法 ： 将“高度基准”检查对象移到任意位置之后，根据该位置调节检查框的大小。 提取范围 检查框内 “高度基准”检查对象 26448-P7-00 ■ 基板颜色 将“高度”选项卡画面的“高度基准”副选项卡中设置的高度作为基准高度。 设置方法 ： 1. 按 [ 提取图像 ] 按钮，确认只有检出的基准高度部分显示为…
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2.12 3D 高度检查 ( 选配 )
“3D 高度检查”检出方法，是使用选配的 3D 投影仪检查高度时使用。首先，测定作为高度基准的高度 ( 基板面 )，
将其作为该元件的基准高度。再在该元件需检查高度的位置分别创建检查对象测定高度之后，将该高度与基准高
度之差作为检查对象位置的高度来判定良否。
2.12.1 高度基准
在部位信息“元件本体”的检查项目信息内创建“高度基准”检查对象，测定基板面的高度作为基准高度。该基
准高度将作为该元件的基准高度，因此测定“高度基准”检查对象的高度会在检查该元件的其它检查项目之前进行。
检查项目：高度基准
检出方法：3D高度检查
高度基准
“高度基准”检查对象(红框)
3D高度检查
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1
设置检出条件参数。
检出条件参数
检出方法：3D高度检查
＜高度基准＞
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位置修正类型
选择进行位置修正时的位置基准。
位置修正方式
该参数只有“位置修正类型”的设置为“无效”以外的选项时才有效。
‧
标准 ：
对检查对象的检查位置进行修正。
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提取范围
测定基准高度的方法从“检查框内”或“基板颜色”中选择。
■ 检查框内
将检查框内的高度作为基准高度。
设置方法 ：
将“高度基准”检查对象移到任意位置之后，根据该位置调节检查框的大小。
提取范围
检查框内
“高度基准”检查对象
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■ 基板颜色
将“高度”选项卡画面的“高度基准”副选项卡中设置的高度作为基准高度。
设置方法 ：
1. 按 [ 提取图像 ] 按钮，确认只有检出的基准高度部分显示为红色。
2. 若未被正确检出时，修改“高度”选项卡画面的“高度基准”的“照明设定”参数。
提取范围
基板颜色
检出的基准高度
[提取图像]按钮
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参考
关于“高度”选项卡的“高度基准”副选项卡的设置方法，请参照第 2 章“3.6.2 高度基准”的内容。
测定方法
该参数只有将“提取范围”选择为“检查框内”时才会显示。
从下拉框中选择计算基准高度的方法。
‧
平均值 ：计算检查框内的平均高度，作为基准高度。
‧
最大值 ：将检查框内的最大高度作为基准高度。
‧
最小值 ：将检查框内的最小高度作为基准高度。
‧
中央值 ：将检查框内的高度中间值作为基准高度。
‧
最大频度值 ：将检查框内最多的高度作为基准高度。
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测定基准高度。
按“数据调整”选项卡中的 [ 对象测试 ] 按钮，测定高度。
如果无法正确测定高度时，需参考画面中显示的测定值修改各项参数的设定值或调整测定位置。
对象测试
检出方法：3D高度检查
测定值
[对象测试]按钮
＜高度基准＞
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