N7202A029B40_SPG_Parts List_零件部品一覽表.pdf - 第165页
Ref No. Remarks R 1 Q'ty 28 マスククリーニングユニット配線:SPG Mask Cleaning U nit W iring:SPG ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610142537AA Part Nam e 備 考 セク ション No . PARTS LIST Section No. R 3…
28
マスククリーニングユニット配線:SPG
Mask Cleaning Unit Wiring:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142537AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S137
( KN610142537AA-05 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
28
マスククリーニングユニット配線:SPG
Mask Cleaning Unit Wiring:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142537AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
CABLE-SUPPORT
4
1 N210142601AA
CABLE-VEYOR
1
2 N510064057AA 2700.05.075.0-14-2605.34PZ+261X7
HOSE
1
3 N510065683AA HTR-19
TUBE
1
4 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
TUBE
1
5 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
TUBE
1
6 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
S138
--
( KN610142537AA-05 )
29-A
搬送コンベア:SPG
Transport Conveyor:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140085AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S139
( KN610140085AA-10-1 )