N7202A029B40_SPG_Parts List_零件部品一覽表.pdf - 第271页
Ref No. Remarks R 1 Q'ty 5 爪付きマスク吸着Mサイズ 枠対応分割クランパ:SPG Mask Vacuum M -size Capable Separate C lamper W ith Foil:S ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610140119AA Part Nam e 備 考 セク ショ…
5
爪付きマスク吸着Mサイズ枠対応分割クランパ:SPG
Mask Vacuum M-size Capable Separate Clamper With Foil:S
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140119AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O15
( KN610140119AA-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
5
爪付きマスク吸着Mサイズ枠対応分割クランパ:SPG
Mask Vacuum M-size Capable Separate Clamper With Foil:S
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140119AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
CLAMPER
1
1 N210173899AD
PLATE
1
2 N210173900AC
PLATE
1
3 N210173901AC
PIN
8
4 N210162965AA
CLAMPER
1
5 N210173902AD
PLATE
1
6 N210173903AC
PLATE
1
7 N210173904AC
PLATE
1
8 N210143297AA
PLATE
1
9 N210114704AA
PLATE
1
10 N210173905AA
PLATE
2
11 N210114705AB
AIR-SLIDE
2
12 N510019323AA MXPJ6-5-X23A
JOINT
4
13 N510064400AA M-3AU-4-X83
JOINT
8
14 MTNP000834AA M-5HL-4-X83
BOLT
12
15 N510017333AA
Hexagon socket head cap screw M3X5-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
16 N510017341AA
Hexagon socket head cap screw M3X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
8
17 N510017376AA
Hexagon socket head cap screw M4X6-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
18 N510017344AA
Hexagon socket head cap screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
8
19 N510017351AA
Hexagon socket head cap screw M4X16-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
20 N510017381AA
Hexagon socket head cap screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
21 N510017511AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M3X5-10.9 A2J (Trivalent)
O16
--
( KN610140119AA-04 )
6
マスク吸着用空圧回路部:SPG
Air Curcuit For Mask Vacuum:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140116AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O17
( KN610140116AA-07 )