N7202A029B40_SPG_Parts List_零件部品一覽表.pdf - 第264页
2 搬送固定ブラケット(ユニバーサルマスクホルダ):SPG Fixed Bracket (U niversal Mask Holder): SPG パーツレイアウト Kit No. キット 品番 Kit Name キット名称 N610140096AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O9 ( KN610140096AA-01 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
1-D
ユニバーサルマスクホルダ:SPG
Universal Mask Holder:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140094AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
1
1 N210171931AD
PLATE
1
2 N210171932AD
PIN
2
3 N210181157AA
PLATE
1
4 N210171937AD
PLATE
1
5 N210171938AD
PIN
2
6 N210182190AA
BRACKET
1
7 N210171939AB
BRACKET
1
8 N210171940AB
BRACKET
2
9 N210171945AA
LINEAR-WAY
2
10 N510063931AA SRS12MUUC1E+145LM(02811418K000)
SPACER
4
11 N510021006AA CF-407E
CYLINDER
2
12 N510021929AA MDC2-10-10
JOINT
4
13 N510066662AA KQ2L04-M5A
BOLT
6
14 N510017341AA
Hexagon socket head cap screw M3X8-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
8
15 N510017308AA
Hexagon socket head cap screw M3X12-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
6
16 N510017473AA
Hexagon socket head cap screw M8X25-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
18
17 N510018478AA
Small round-plain washer 3 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
18 N510018497AA
Round finish plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
19 N510020102AA Thick washer M8
NUT
2
20 N510017855AA
Hexagon nut Type-1 Best class M4-6H-4T A2J (Trivalent)
BOLT
12
21 N510017305AA
Hexagon socket head cap screw M3X10-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
22 N510017316AA
Hexagon socket head cap screw M3X20-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
23 N510017346AA
Hexagon socket head cap screw M4X12-10.9 A2J (Trivalent)
O8
--
( KN610140094AA-12-4 )
2
搬送固定ブラケット(ユニバーサルマスクホルダ):SPG
Fixed Bracket (Universal Mask Holder): SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140096AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O9
( KN610140096AA-01 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
2
搬送固定ブラケット(ユニバーサルマスクホルダ):SPG
Fixed Bracket (Universal Mask Holder): SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140096AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 N210174812AA
BRACKET
1
2 N210174813AA
BRACKET
1
3 N210182181AA
BRACKET
1
4 N210182201AA
BOLT
8
5 N510019942AA WA SOCKET SP TYPE M5X16-10.9 A2J (Trivalent)
O10
--
( KN610140096AA-01 )