N7201A501C.pdf - 第28页
NPM-DGS SP 编辑器 1.3 生产数据的制作 Page 1-10 EJS9AC-MB-01S-03 ② 基板数据的编辑 在此，以样品基板的数据为例输入数 据。 1 点击主菜单的 [ 基板数据 ] 。 显示出 < 基板数据 > 窗口的 < 基板数据 > 表。 2 输入基板尺寸。 请输入基板的 ‘L’ 、 ‘W’ 、 ‘T’ 尺寸。 3 选择坐标基准。 补偿原点偏移量时，请输入数值。 4 设定不良…
NPM-DGS
SP
编辑器
1.3
生产数据的制作
EJS9AC-MB-01S-03
Page
1-9
3.
原点偏移量
输入原点偏移量值。原点偏移量用于将坐标原点
(0,0)
设定在坐标基准的基板棱角以外位置的情
况。偏移量值是指从坐标基准的棱角至坐标原点为止的尺寸。
输入范围
X (mm)
20 ~
基板尺寸
X
Y (mm)
20 ~
基板尺寸
Y
4.
不良基板标记位置
输入不良基板标记位置。
5.
搬送速度
设定搬送基板的速度
(
传送带速度
)
。在
SPD,SPG
下，速度以高速
(
标准
)
中速
低速
超
低速的
4
阶段而进行切换
;
在
SP70
下，速度以高速
(
标准
)
中速
低速
超低速
最高速的
5
阶段而进行切换。
搬送晶圆、挠性基板等特殊基板时，请将速度从高速
(
标准
)
切换至中速、低速，进行传送带速
度的调整。
NPM-DGS
SP
编辑器
1.3
生产数据的制作
Page 1-10 EJS9AC-MB-01S-03
② 基板数据的编辑
在此，以样品基板的数据为例输入数据。
1
点击主菜单的
[
基板数据
]
。
显示出
<
基板数据
>
窗口的
<
基板数据
>
表。
2
输入基板尺寸。
请输入基板的
‘L’
、
‘W’
、
‘T’
尺寸。
3
选择坐标基准。
补偿原点偏移量时，请输入数值。
4
设定不良基板标记位置。
当存在不良基板标记位置时，请输入数值。
5
点击
[
关闭
]
。
将返回到主菜单。
EJP1A-SPD-0007
2
EJP1A-SPD-0007
3
5
4
NPM-DGS
SP
编辑器
1.3
生产数据的制作
EJS9AC-MB-01S-03
Page
1-11
1.3.2
基板识别数据
① 关于基板识别数据
1.
基板识别模式
基板识别
AB
点
:
对每个基板分别进行
A
、
B
点的识别。对于根据
2
点得到的偏移量
x
、
y
、
进行补正。
基板识别
AB+Pa
点
:
对每个基板分别进行
A
、
B
点及图案
1
点
(Pa)
的识别。
基板识别
AB+PaPb
点
:
对每个基板分别进行
A
、
B
点及图案
2
点
(PaPb)
的识别。针对特定
的间距图案进行补正的情况下使用本模式。进行从
A
、
B
点
、
方向的补正。
进行
Pa (Pb)
点
x
、
y
与
x
、
y
方向的补正。
在周围
5 mm
以内有同一图案的情况下不能使用。
基板识别
A
点
:
对每个基板分别进行
A
点的识别。仅进行
A
点的偏移量
x
、
y
的补正，
而不进行
的补正。对不需进行
补正的情况及加快生产节拍有效。
2.
模块识别模式
模块识别
AB
点
:
对每个模块分别进行
A
、
B
点的识别。对于根据
2
点得到得偏移量
x
、
y
、
进行补正。
模块识别
A
点
:
对每个模块只进行
A
点的识别。只对
A
点的偏移量
x
、
y
进行补正，
而不进行
的补正。
EJP1A-SPD-0008