03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DE.PDFA.pdf - 第58页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 58 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 2.7.6 Austausch der vorderen Snug-Leiste 2.7.6.1 Entfernen Sie 1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorber…
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 57
10. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die Stellschraube (1) auf und montieren
Sie es an der Hinterseite der oberen Platte (nicht vollständig festziehen).
1
2
11. Während Sie eine 350 µm Fühlerlehre (3) zwischen die schräge Fläche der Snug-Leiste (1)
und der oberen Platte schieben (2), ziehen Sie langsam die Stellschraube fest, bis die Fühler-
lehre gerade so hineinpasst. Prüfen Sie, dass eine 400 µm Fühlerlehre keinen Freiraum zwi-
schen der Snug-Leiste und der oberen Platte hat.
HINWEIS
Da die Snug-Leiste der hinteren Montage zentral befestigt ist, damit sie sich drehen kann,
kann die Prüfung mit der Fühlerlehre nur in der Mitte der Baugruppe durchgeführt werden.
1
2
3
12. Montieren Sie es und ziehen Sie die Kontermutter (2) fest. Prüfen Sie erneut, dass eine 350
µm Fühlerlehre zwischen die schräge Fläche der Snug-Leiste und der oberen Platte passt,
nicht jedoch eine Fühlerlehre von 400 µm.
13. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
14. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
58 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.6 Austausch der vorderen Snug-Leiste
2.7.6.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (2)
(in 4 Positionen) von der Snug-Leiste (1).
1
2
5. Entfernen Sie die Snug-Leiste.
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 59
2.7.6.2 Austauschen
1. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die 4 M3 Kopfschrauben auf.
2. Positionieren Sie die Snug-Leiste und befestigen Sie sie leicht mit Hilfe der 4 M3 Kopfschrau-
ben.
3. Fügen Sie eine 0,5 mm Fühlerlehre (2) zwischen den Aufkantungen (1) auf der mittleren Plat-
te und der Rückseite der Snug-Leiste (3) ein. Führen Sie die Snug-Leiste hoch gegen die
Fühlerlehre und ziehen Sie die Kopfschrauben vollständig fest.
1
2
3
4. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
5. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
6. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden