03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DE.PDFA.pdf - 第61页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 62 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 7. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau- schen" besc…
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
62 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
7. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
8. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2.7.8 Schiebeantrieb Austausch
Pro APC-Modul gibt es zwei Schiebeantriebe. Wenn ein Austausch erforderlich ist, dann müssen
beide Aktoren in einem Modul als ein Paar ersetzt werden.
2.7.8.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4)
(in 4 Positionen) vom ersten Führungsschlitten (1) und (3).
1
2
3
4
5. Entfernen Sie teilweise den Führungsschlitten, um Zugang zu den Pneumatik Rohrbogen (2)
zu erhalten.
6. Notieren Sie sich die Ausrichtung der Rohrbogen, um bei der Reinstallation des neuen Füh-
rungsschlittens zu helfen.
7. Benutzen Sie einen kleinen Schlitzschraubendreher, entfernen Sie the Pneumatik Rohrbogen.
8. Entfernen Sie the Führungsschlitten.
9. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 8 für den anderen Führungsschlitten.