03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DE.PDFA.pdf - 第60页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 60 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 2.7.7 Austausch der hinteren Snug-Leiste 2.7.7.1 Entfernen Sie 1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorber…
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 59
2.7.6.2 Austauschen
1. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die 4 M3 Kopfschrauben auf.
2. Positionieren Sie die Snug-Leiste und befestigen Sie sie leicht mit Hilfe der 4 M3 Kopfschrau-
ben.
3. Fügen Sie eine 0,5 mm Fühlerlehre (2) zwischen den Aufkantungen (1) auf der mittleren Plat-
te und der Rückseite der Snug-Leiste (3) ein. Führen Sie die Snug-Leiste hoch gegen die
Fühlerlehre und ziehen Sie die Kopfschrauben vollständig fest.
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4. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
5. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
6. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
60 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.7 Austausch der hinteren Snug-Leiste
2.7.7.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Ansatzschraube (4)
von der Snug-Leiste (1).
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5. Entfernen Sie die Lager (2) und (3). Entfernen Sie die Snug-Leiste.
HINWEIS
Achten Sie beim Entfernen der Snug-Leiste darauf, dass die 2 Federn, die an der Hinterseite
der Snug-Leiste montiert sind, entfernt wurden. Achten Sie darauf, dass die Federn nicht hin-
ter der Innenseite der mittleren Platte vergessen und zurückgelassen werden.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 61
2.7.7.2 Austauschen
1. Drücken Sie die Lager (1) und (2) in die Snug-Leiste ein.
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2. Installieren Sie die Federn (2) (in 2 Positionen) in die Taschen, die sich an der Hinterseite der
Snug-Leiste befinden.
3. Senken Sie die Snug-Leiste in Position, drücken Sie die Federn (1) vorsichtig zusammen,
damit sie sich, wenn sie freigegeben werden, gegen die Aufkantung der mittleren Platte (2)
ausweiten können.
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Teilansicht des hinteren APC-Moduls (Snug-Leiste ist undurchsichtig für eine verbesserte
Darstellung)
4. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die Ansatzschraube auf. Installieren Sie
und ziehen Sie die Ansatzschraube fest, um die Snug-Leiste an der mittleren Platte zu befes-
tigen.
5. Gewährleisten Sie, dass die Snug-Leiste sich um ihren Mittelpunkt drehen kann.
6. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.