03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DE.PDFA.pdf - 第62页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 62 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 7. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau- schen" besc…
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 61
2.7.7.2 Austauschen
1. Drücken Sie die Lager (1) und (2) in die Snug-Leiste ein.
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2. Installieren Sie die Federn (2) (in 2 Positionen) in die Taschen, die sich an der Hinterseite der
Snug-Leiste befinden.
3. Senken Sie die Snug-Leiste in Position, drücken Sie die Federn (1) vorsichtig zusammen,
damit sie sich, wenn sie freigegeben werden, gegen die Aufkantung der mittleren Platte (2)
ausweiten können.
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Teilansicht des hinteren APC-Moduls (Snug-Leiste ist undurchsichtig für eine verbesserte
Darstellung)
4. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die Ansatzschraube auf. Installieren Sie
und ziehen Sie die Ansatzschraube fest, um die Snug-Leiste an der mittleren Platte zu befes-
tigen.
5. Gewährleisten Sie, dass die Snug-Leiste sich um ihren Mittelpunkt drehen kann.
6. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
62 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
7. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
8. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2.7.8 Schiebeantrieb Austausch
Pro APC-Modul gibt es zwei Schiebeantriebe. Wenn ein Austausch erforderlich ist, dann müssen
beide Aktoren in einem Modul als ein Paar ersetzt werden.
2.7.8.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4)
(in 4 Positionen) vom ersten Führungsschlitten (1) und (3).
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5. Entfernen Sie teilweise den Führungsschlitten, um Zugang zu den Pneumatik Rohrbogen (2)
zu erhalten.
6. Notieren Sie sich die Ausrichtung der Rohrbogen, um bei der Reinstallation des neuen Füh-
rungsschlittens zu helfen.
7. Benutzen Sie einen kleinen Schlitzschraubendreher, entfernen Sie the Pneumatik Rohrbogen.
8. Entfernen Sie the Führungsschlitten.
9. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 8 für den anderen Führungsschlitten.
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2.7.8.2 Austauschen
1. Identifizieren Sie die korrekte Führungsschlittenmontage für den Ersatz, die folgende Abbil-
dung zeigt die korrekten Baugruppen-Modellnummern und wie diese für die vordere (3) und
hintere (4) Montage bestimmt werden.
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1
1
3
4
2
= MXJ8-5N
= MXJ8L-5N
2. Benutzen Sie IPA-Tücher, um die Oberflächen des Aufbaus (2), bzw. des Festpunkts (1) auf
der mittleren Platte zu reinigen.
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3. Benutzen Sie einen kleinen Schlitzschraubendreher, installieren Sie die 2 pneumatischen
Anschlüsse am neuen Führungsschlitten in der gleichen Position und Ausrichtung wie vor der
Entfernung.
4. Positionieren Sie den Führungsschlitten an der Halterungsfläche.
5. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die 4 M3 Kopfschrauben auf und befes-
tigen Sie den Führungsschlitten lose an der Halterungsfläche der mittleren Platte.
6. Gewährleisten Sie, dass der Führungsschlitten fest hoch gegen die Festpunktflächen
gedrückt wird und ziehen Sie die 4 M3 Kopfschrauben fest.
7. Wiederholen Sie die Schritte 2 bis 6 für den anderen Führungsschlitten.
8. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.