03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DE.PDFA.pdf - 第76页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 76 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 2.7.11 Zimmer-Klemme Austausch Es gibt zwei Klemmen pro APC-Modul, falls ein Austausch erforderlich ist, dann müss…
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 75
14. Benutzen Sie das Trennschalterventil (1), um die Luftzufuhr zu den APC-Modulen wieder her-
zustellen. Prüfen Sie, dass die Zimmer-Klemmen gespannt worden sind.
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Sitz des APC Pneumatikverteilers
15. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, setzen Sie die Zylinderschrauben (2) (in
2 Positionen) wieder ein und die Ausgleichsscheiben (1) (in 2 Positionen), welche an der mitt-
leren Platte des Wellenführungaufbaus befestigt werden.
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16. Benutzen Sie das Trennschalterventil, um die Luftzufuhr zu den APC-Modulen zu trennen.
Trennen Sie den stromaufwärts gelegenen Schlauch vom Trennschalter, damit sich jeglicher
Restdruck im System entlüften kann. Schließen Sie dne stromaufwärts gelegenen Schlauch
wieder an.
17. Gewährleisten Sie, das die mittlere Platte Baugruppe freie Bewegung hat. Heben Sie die Bau-
gruppe an und lassen Sie sie fallen, prüfen Sie dabei, dass sie unter ihrem eigenen Gewicht
wieder zurück in ihre Ausgangsposition fällt.
18. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
19. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
20. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
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76 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.11 Zimmer-Klemme Austausch
Es gibt zwei Klemmen pro APC-Modul, falls ein Austausch erforderlich ist, dann müssen beide
Klemmen in einem Modul als ein Paar ausgetauscht werden.
2.7.11.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen Schlitzschraubendreher, entfernen Sie den Pneumatik Rohrbogen (2) (in
2 Positionen).
HINWEIS
Das Markieren der Rohrbogen A und B hilft beim Neuzusammenbau. Notieren Sie sich eben-
falls die Ausrichtung.
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5. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie den Klemmenbefesti-
gungsblock (1) behalten Sie die Kopfschrauben (3) (in zwei Positionen) zurück.
6. Entfernen Sie die Klemme und den Klemmenbefestigungsblockaufbau.
7. Benutzen Sie einen 2 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie the Kopfschrauben (3),
welche die Klemme (1) am Klemmenbefestigungsblock (2) befestigen.
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8. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 7 für die andere Klemme.
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2.7.11.2 Austauschen
1. Bereiten Sie die neue Klemme vor, indem Sie alle Oberflächen mit IPA-Tüchern reinigen, um
zu gewährleisten, dass das Transportschmierfett entfernt wurde. Besondere Aufmerksamkeit
sollte hierbei der Kolbenoberfläche geschenkt werden.
2. Benutzen Sie einen 1,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die schützende Stanz-
schraube von Anschluss B und die Entlüftungsschraube von Anschluss A auf der Klemme.
3. Mit Hilfe einer flachen Oberfläche und einem quadratischen Block (1), legen Sie die Befesti-
gungsblockkanten bündig mit den Klemmenkanten. Sichern Sie die Klemme am Befesti-
gungsblock mit Hilfe eines 2 mm Innensechskantschlüssels und der Kopfschrauben.
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4. Wiederholen Sie die Schritte 1 bis 3 für die andere Klemmenbaugruppe.
5. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Zylinderschrauben (1)
(in 2 Positionen) und die Ausgleichscheiben (2) (in 2 Positionen) von der mittleren Platte. Tra-
gen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die Schrauben auf und passen Sie sie lose
wieder ein, damit die mittlere Platte sich frei bewegen kann.
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