03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DE.PDFA.pdf - 第59页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 59 2.7.6.2 Austauschen 1. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die 4 M3 Kopfschrauben auf. 2. Positioniere…
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
58 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.6 Austausch der vorderen Snug-Leiste
2.7.6.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (2)
(in 4 Positionen) von der Snug-Leiste (1).
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5. Entfernen Sie die Snug-Leiste.
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 59
2.7.6.2 Austauschen
1. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die 4 M3 Kopfschrauben auf.
2. Positionieren Sie die Snug-Leiste und befestigen Sie sie leicht mit Hilfe der 4 M3 Kopfschrau-
ben.
3. Fügen Sie eine 0,5 mm Fühlerlehre (2) zwischen den Aufkantungen (1) auf der mittleren Plat-
te und der Rückseite der Snug-Leiste (3) ein. Führen Sie die Snug-Leiste hoch gegen die
Fühlerlehre und ziehen Sie die Kopfschrauben vollständig fest.
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4. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
5. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
6. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
60 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.7 Austausch der hinteren Snug-Leiste
2.7.7.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Ansatzschraube (4)
von der Snug-Leiste (1).
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5. Entfernen Sie die Lager (2) und (3). Entfernen Sie die Snug-Leiste.
HINWEIS
Achten Sie beim Entfernen der Snug-Leiste darauf, dass die 2 Federn, die an der Hinterseite
der Snug-Leiste montiert sind, entfernt wurden. Achten Sie darauf, dass die Federn nicht hin-
ter der Innenseite der mittleren Platte vergessen und zurückgelassen werden.