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Tg 1301 -ID-MD 3 - 19 基板搬送モータ 基板搬送モータ 0602-001-(M831WBB--101 1)
Tg1301-ID-MD
3-18
印圧制御部
印圧制御部
0602-001-(M831WBB--1010)
Tg1301-ID-MD
3-19
基板搬送モータ
基板搬送モータ
0602-001-(M831WBB--1011)
Tg1301-ID-MD
3-20
テーブル部 Z 軸サーボモータ
テーブル部 Z 軸サーボモータ
0602-001-(M831WBB--1012)