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2 - 21 Tg 1301 -ID-MD メカ周り部レイアウト 1 0602 - 001 -(M 831 YK--- 1001 ) メカ周り部レイアウト 1

2-20

Tg1301-ID-MD

排出コンベア部レイアウト

0602-001-(M831YH---1002)

排出コンベア部レイアウト

Table 5C11

記　　号名　　　　　称

B44 基板到達確認

B45 基板通過確認

B391 R

コンベアレール幅オーバラン（+）

M03

R コンベアモータ

M39

R コンベア幅パルスモータ

2-21

Tg1301-ID-MD

メカ周り部レイアウト 1

0602-001-(M831YK---1001)

メカ周り部レイアウト 1

2-22

Tg1301-ID-MD

0602-001-(M831YK---1002)

メカ周り部レイアウト 2

メカ周り部レイアウト 2

Table 5C12

記　　号名　　　　　称

B46 基板認識 Y

軸インタロック

B331 基板認識 Y

軸原点

B334 基板認識 Y

軸回転原点