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Tg 1301 -ID-MD 3 - 23 テーブル部基板上下軸モータテーブル部基板上下軸モータ 0602-001-(M831WBB--1015)

Tg1301-ID-MD

3-22

テーブル部

θ

軸サーボモータ

テーブル部

θ

軸サーボモータ

0602-001-(M831WBB--1014)

Tg1301-ID-MD

3-23

テーブル部基板上下軸モータ

テーブル部基板上下軸モータ

0602-001-(M831WBB--1015)

Tg1301-ID-MD

3-24

テーブル軸パルスモータ

テーブル幅パルスモータ

0602-001-(M831WBB--1016)