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Tg 1301 -ID-MD 3 - 20 テーブル部 Z 軸サーボモータテーブル部 Z 軸サーボモータ 0602-001-(M831WBB--1012)

Tg1301-ID-MD

3-19

基板搬送モータ

0602-001-(M831WBB--1011)

Tg1301-ID-MD

3-20

テーブル部 Z 軸サーボモータ

0602-001-(M831WBB--1012)

Tg1301-ID-MD

3-21

テーブル部 X 軸サーボモータ

0602-001-(M831WBB--1013)