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- 81 - 41. VACUUM PUMP UNIT (M/C REV.A) 真空ボンプユニット（マシン ＲＥＶ．Ａ） 3 5 6 8 2 9 10 11 12 16 17 17 4 18 20 20 19 22 22 22 22 11 28 23 25 29 26 30 27 21 31 A A 7 24 1 32 33 34
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 L185E-021-0A0 HOD ASSEMBLY
ＨＯＤ 組
1
2 400-64061 TFT LIQUID CRYSTAL MONITOR ASM
ＴＦＴ 液晶モニター組
(1)
3 L838E-321-0A0 HOD EMG SW ASM
ＨＯＤ ＥＭＧ ＳＷ 組
(1)
4 L185E-521-000 HOD EMG SEAL
ＨＯＤ ＥＭＧ シール
(1)
5 L185E-621-000 HOD PANEL SHEET
ＨＯＤ パネルシート
(1)
6 TA-0750404-R0 PLUG D=7.5 L=3.5
止栓 Ｄ ＝７．５ Ｌ ＝３．５
(1)
- 81 -
41.VACUUM PUMP UNIT (M/C REV.A)
真空ボンプユニット（マシン ＲＥＶ．Ａ）
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A
A
7
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1
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33
34
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-76190 VACUUM PUMP UNIT
バキュームポンプユニット
1
2 400-76121 VACUUM PUMP
バキュームポンプ
(1)
3 400-76122 VP BASE
ＶＰ ベース
(1)
4 400-76123 VP ADJUST FOOT
ＶＰ アジャストフット
(4)
5 400-76124 VP COVER
ＶＰ カバー
(1)
6 400-76125 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
7 400-76126 PARTITION ELBOW
パーティションエルボ
(1)
8 400-76127 ELBOW BR
エルボ ＢＲ
(1)
9 400-78777 CARRIER RAIL L54
キャリアレール Ｌ ５４
(1)
10 400-76106 RUBBER BUSH
ラバーブッシュ
(1)
11 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(4)
12 HK-0691900-0B BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(2)
13 HK-0696500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(3)
14 HK-0693500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
15 HK-0696900-00 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
16 HK-0696900-0A BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
17 HM-0003300-30 FAN GUARD
ファンガード
(2)
18 400-77081 VAC PUMP FAN ASM
バキュームポンプファン組
(1)
19 400-80318 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ ＦＧ ケーブル組
(1)
20 SL-3061232-TN SCREW
座金付き丸ねじ Ｍ ６ Ｌ ＝１２
(4)
21 SL-4033591-SC SCREW M3X35
セムスねじ
(2)
22 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝８
(7)
23 SL-4041091-SC SCREW M4 L=10
なべ小ねじセムス Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝１０
(2)
24 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
25 SL-6063592-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト Ｍ ６ Ｌ ＝３５
(4)
26 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝６
(2)
27 NM-3034000-SF FLANGE NUT
フランジナット Ｍ ３
(2)
28 NM-6040001-SC NUT M4
六角ナット Ｍ ４
(2)
29 NM-6060001-SC NUT M6
六角ナット Ｍ ６ １種
(4)
30 NM-6100001-SC NUT M10X1.5
六角ナット Ｍ １０ １種
(4)
31 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
32 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハ−フユニオン
1
33 400-78779 PUMP FILTER
ポンプフィルタ
1
34 400-78778 PUMP BLADE SET
ポンプブレードセット
1