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- 85 - 43.HMS COMPONENTS HMS 関係 3 4 5 1 6 7 1 2 8

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- 84 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-03780 VACUUM PUMP UNIT
バキュームポンプユニット
1
2 400-63490 VACUUM_PUMP
真空ポンプ
(1)
3 401-02712 VP_BASE
VP ベース
(1)
4 400-76123 VP ADJUST FOOT
VP アジャストフット
(4)
5 401-02713 VP_COVER
VP カバー
(1)
6 400-76126 PARTITION ELBOW
パーティションエルボ
(1)
7 400-76127 ELBOW BR
エルボ BR
(1)
8 401-02714 CARRIER_RAIL_L45
キャリアレール L 45
(1)
9 400-76106 RUBBER BUSH
ラバーブッシュ
(1)
10 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(2)
11 HK-0691900-0B BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(2)
12 HK-0696500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(3)
13 HK-0693500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
14 HK-0696900-00 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
15 HK-0696900-0A BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
16 401-02718 VAC PUMP FAN ASM
バキュームポンプファン組
(1)
17 400-80318 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ FG ケーブル組
(1)
18 PJ-3011200-01 REDUCER
レジューサ
(1)
19 NM-6100001-SC NUT M10X1.5
六角ナット M 10 1種
(4)
20 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ M 4 L =8
(3)
21 SL-3061232-TN SCREW
座金付き丸ねじ M 6 L =12
(4)
22 400-47386 CABLE_CLAMP_RUBBER_Y
ケーブルクランプラバー
(2)
23 400-70387 PUMP_SUPPORT
ポンプサポート
(1)
24 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(2)
25 WP-0841601-SC WASHER 8.4X17.4X1.6
平座金みがき丸 M
(2)
26 HM-0010100-10 FAN FILTER
ファンフィルタ
(1)
27 SL-4033591-SC SCREW M3X35
セムスねじ
(2)
28 NM-3034000-SF FLANGE NUT
フランジナット M
(2)
29 CM-3001000-05 VOLTAGE WARNING LABEL (75)
危険電圧警告シール(75)
(1)
30 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ M 0.7 L =6
(2)
31 EA-9002B11-00 BUSHING L
自在ブッシュ
(0.052)
32 HX-0022300-0A BUSHING
ブッシュ
(0.015)
33 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
34 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
35 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハーフユニオン
1
36 400-68178 VACUUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT
バキュームポンプメンテナンスキット
1
- 85 -
43.HMS COMPONENTS
HMS 関係
3
4
5
1
6
7
1
2
8
- 86 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-02185 HMS CABLE ASM
HMS ケーブル組
1
2 SM-6032002-TN SCREW M3X0.5 L=20
M3X0.5 L =20
2
3 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
4
4 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス M 0.5 L =6
4
5 EA-9500B01-00 CABLE BAND
束線バンド
4
6 L245E-021-000 HMS AMP BASE
HMS AMP ベース
2
7 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
8 400-83697 HMS_GUARD
HMS ガー
1