松下BM221维修手册_4E3DA.pdf - 第136页
BM221 维修手 册 8.9 基板搬 送部 E33MC C-Z3-211 -C0 8.9-1 8.9. E33MCC-Z3-211- C0 8.9.1 / Unit No. 108 62060 00 / 10 86205 200 / 108620 5300 No. a. 传感器 清扫油 和灰 尘。 每天 b. 基板支 撑台 升降动 作顺 利。 No. 1. 滚珠丝 杠 0.2 cm 3 位置 : 表面 (2 个 ) 3 个月 2. L…
BM221
维修手册
8.8 Robot
头
:
吸嘴
E33MCC-Z1-D01-C0
8.8-6
BM221
维修手册
8.9
基板搬送部
E33MCC-Z3-211-C0
8.9-1
8.9.
E33MCC-Z3-211-C0
8.9.1 /
Unit No. 1086206000 / 1086205200 / 1086205300
No.
a.
传感器
清扫油和灰尘。
每天
b.
基板支撑台
升降动作顺利。
No.
1.
滚珠丝杠
0.2 cm
3
位置
:
表面
(2
个
)
3
个月
2.
LM
导轨
0.5 cm
3
(1 shot)
吸嘴
: P+J
型
+
挠性软管
位置
:
润滑脂注入口（
2
处）
a.传感器
b.基板支撑台
2.LM 导轨
1.滚珠丝杠
BM221
维修手册
8.9
基板搬送部
E33MCC-Z3-211-C0
8.9-2
1.
滚珠丝杠
位置
:
表面（
2
个）
2. LM
导轨
位置
:
润滑脂注入口（
2
处）
= =
溢出的润滑脂请用棉棒和纱布擦掉。
润滑脂注入口
50 mm
搬送导轨宽度设为最小(50mm)。