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BM221 维修手 册 6.1 气压控 制 E3 3MCC-17 -011-C 0 6.1-2 6.1.2 下降阀 (切断) 上升阀 (收纳) 左侧连结 M/C 供给部 右侧连结 M/C 供给部 下降阀 上升阀 下降阀 上升阀 左基准用基板止动器 右基准用基板止动器 支撑台本体 支撑台装置 吸嘴交换装置 F10862-03-000 Ø4 Black Ø4 Yello w Ø4 Black Ø4 Yello …
BM221
维修手册
6.1
气压控制
E33MCC-17-011-C0
6.1-1
6.1.
E33MCC-17-011-C0
6.1.1
1.
2. :
3. :
4. :
5. :
6. :
7. :
8. MR
= =
0.43MPa
（
0.40
～
0.43MPa
）
9. :
10. :
11. :
12. :
7.
5.
8.
6.
3.
1.
4.
2.
9.
10.
12.
11.
BM221
维修手册
6.1
气压控制
E33MCC-17-011-C0
6.1-2
6.1.2
下降阀
(切断)
上升阀
(收纳)
左侧连结
M/C
供给部
右侧连结
M/C
供给部
下降阀上升阀 下降阀上升阀
左基准用基板止动器 右基准用基板止动器 支撑台本体
支撑台装置
吸嘴交换装置
F10862-03-000
Ø4 Black Ø4 Yello
w
Ø4 Black Ø4 Yello
w
Ø6 Black
Ø4 Black Ø4 Yello
w
Ø4 Yello
w
Ø4 Black
Ø6 Black
Ø6 Black
Ø4 Yello
w
Ø4 Black
Ø4 Yello
w
Ø4 Black
Ø6 Black
Ø6 Black
Ø6 Black
Ø10 Black
Ø6 Blac
k
Ø6 Blac
k
Ø6 Blac
k
Ø10 Black
设定压力
: 0.43 (0.40 – 0.43) MPa
Ø6 Black Ø6 Black
D
C
A
B
BM221
维修手册
6.1
气压控制
E33MCC-17-011-C0
6.1-3
吸头装置
X
轴平面电缆
Y
轴平面电缆
吹气回路
真空多级抽气装置
F10862-03-000
(A) (B)
Ø6 Black
Ø6 Black
Ø6 Black
设定压力
: 27 (25 – 30) kPa
设定压力
: 8 (7 – 10) kPa
Ø6 Black
Ø6 Black
Ø8 Black
Ø8 Blac
k
Ø6 Black
Ø8 Black
Ø8 Black
Ø8 Black
Ø8 Black
Ø8 Black
Ø6 Black
Ø8 Black
Ø6 Black
Ø4 Black
Ø4 Black
Ø4 Black
Ø4 Black
Ø4 Black
Ø4 Black
Ø4 Black
Ø4 Black