CM101维修手册.pdf - 第320页
CM101-D 维修手册 2.2 机器参数的示教步 骤 Pa ge 2- 84 3. 将伺服开关置于 OFF (O) 状态。 4. 打开安全盖。 5. 让面补正量具滑进 Z 夹具下面， 将基板左 端和夹具的左端对齐。 例 ) 基板移动方向 → 6. 关闭安全盖。 7. 将伺服开关置于 ON ( I ) 状态。 8. 按操作面板的 UNLOCK + [ 量具调整 ] 。 下一页 EJM5B -046P EJM5B -Mp-0049 8 E…
CM101-D
维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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2.2.6
面补正
使用工具
面补正量具
D
尺寸
: N610057764AA
M
尺寸
: N610057763AA
需要时间
20
分钟
∗
请根据设备的规格使用不同的面补正量具。
前期准备
∗
进行面补正示教之前，请确认吸头照相机上未安装偏光板。
∗
卸下所有支撑销。
1.
按
[
面补正
]
。
2.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
量具设置
]
。
•
有时会执行传送带的宽度调整。
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CM101-D
维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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3.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
4.
打开安全盖。
5.
让面补正量具滑进
Z
夹具下面，将基板左
端和夹具的左端对齐。
例
)
基板移动方向
→
6.
关闭安全盖。
7.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
8.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
量具调整
]
。
下一页
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维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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9.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
10.
打开安全盖。
11.
使面补正量具紧贴在
Y
方向基准导轨上。
12.
关闭安全盖。
13.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
14.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
面补正示教
]
。
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