CM101维修手册.pdf - 第415页

CM101-D 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3- 39 2. 设定热继电器的 保护电流值 ① 通常只进行复位操作。 ( 参照下图 ) 复位热继电器时，请复 位背面的复位开关。 ② 复位后如果还发生真空泵温度异常，请设定保护电流值。 ( 参照下图 ) 将底座内热继电器保护 电流的值，用十字螺丝刀设 定为 2.4 A 。 设定后请按复位开关进 行复位。 热继电器 ( 卸下盖后的状态 ) 如通过上述操作无法解 除异常时，请与本公…

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CM101-D
维修手册
3.2
检查和对策
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3.2.2
真空泵发热异常、环状负荷温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请按下
[
输出确认
]
。
请确认是否从冷却扇送风口向外排风。
(
无需卸下主体盖。
)
风扇位于本机后面。
(
参照下图
)
如果冷却扇送风口未向外排风，则可能冷却扇损坏。需要进行更换，请与本公司联系。
将真空泵置于
ON
的步骤
1.
按机器调节菜单中的
[
输出确认
]
。
2.
按
[
真空泵
]
。
•
显示从
OFF
切换为
ON
，真空泵开始旋转。
∗
作业结束后，请按相同步骤将真空泵置于
OFF
。
EJM5B-AB
EJM5B-019P
冷却扇送风口
(
卸下盖后的状态
)
EJM5B-Ma-0014
ON
2
EJM5B-C-MMC03-A01-00
CM101-D
维修手册
3.2
检查和对策
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2.
设定热继电器的保护电流值
① 通常只进行复位操作。
(
参照下图
)
复位热继电器时，请复位背面的复位开关。
② 复位后如果还发生真空泵温度异常，请设定保护电流值。
(
参照下图
)
将底座内热继电器保护电流的值，用十字螺丝刀设定为
2.4 A
。
设定后请按复位开关进行复位。
热继电器
(
卸下盖后的状态
)
如通过上述操作无法解除异常时，请与本公司联系。
EJM5B-050P
复位开关
EJM5B-AB
EJM5B-C-MMC03-A01-00
EJM5B-050P
EJM5B-AB
保护电流设定值
CM101-D
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3.2
检查和对策
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3.2.3 CPU
外壳温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请确认是否从冷却扇送风口向外排风。
(
无需卸下主体盖。
)
冷却扇位于本机正面。
(
参照下图
)
冷却扇的出风口没有向外送风时，可判断是冷却扇出现故障。需进行更换，届时请与本公司联系。
CPU BOX
冷却扇送风口
(CPU BOX (
主体
)
的底面
)
将真空泵置于
ON
的步骤请参照
“3.2.2
真空泵热异常、环状负荷温度异常
”
。
3.2.4
基板识别错误
1.
通过微调把相机移动至识别标记的位置，并进行再识别
(
图
1)
确认错误画面，识别标记不在识别画面的中央时，请用操作面板的
+
把识别标记移至
中央，按下操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
2.
清扫识别相机或基板后进行再识别
(
图
2)
确认错误画面，识别标记脏污时要擦拭干净，请按下操作面板的
+
[
再识别
]
。运转重新开
始。
3.
输入正确的坐标之后进行再识别
∗
再次出现识别错误时，
[
无识别
]
和
[
通过
]
被追加显示出来。
请选择其中的一个。
(
图
3)
想中止自动运转和示教时按下
。
EJM5B-AA
444C-454E
EJM5B-C-MMC03-A01-00