CM101维修手册.pdf - 第321页
CM101-D 维修手册 2.2 机器参数的示教步 骤 Pa ge 2- 85 9. 将伺服开关置于 OFF (O) 状态。 10. 打开安全盖。 11. 使面补正量具紧贴在 Y 方向基准导轨上。 12. 关闭安全盖。 13. 将伺服开关置于 ON ( I ) 状态。 14. 按操作面板的 UNLOCK + [ 面补正示教 ] 。 下一页 EJM5B -Mp-0050 14 EJM5B- C-MMC02-A02-0 0
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维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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3.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
4.
打开安全盖。
5.
让面补正量具滑进
Z
夹具下面，将基板左
端和夹具的左端对齐。
例
)
基板移动方向
→
6.
关闭安全盖。
7.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
8.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
量具调整
]
。
下一页
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2.2
机器参数的示教步骤
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9.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
10.
打开安全盖。
11.
使面补正量具紧贴在
Y
方向基准导轨上。
12.
关闭安全盖。
13.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
14.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
面补正示教
]
。
下一页
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2.2
机器参数的示教步骤
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15.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
取下量具
]
。
16.
将伺服开关置于
OFF (O)
状态。
17.
打开安全盖。
18.
卸下量具。
19.
关闭安全盖。
20.
将伺服开关置于
ON ( I )
状态。
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