00197546-03_UM_SiplaceCA-Serie_ZH.pdf - 第224页
4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.3 SWS 的模块说明 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 224 4.3.7.1 晶圆盘升降机 4 图 4.3 - 11 晶圆盘升降机 (1) 带有用于装放 8" 和 12 " 晶圆盘盒交换板的晶 圆盘单元 (2) 马达 (3) 带有保护盖的晶 圆交换器 4 2 3 1
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.3 SWS 的模块说明
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图 4.3 - 10 晶圆交换系统
(1) 带有夹持器的晶圆交换器
(2) 晶圆盘升降机
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.3 SWS 的模块说明 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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4.3.7.1 晶圆盘升降机
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图 4.3 - 11 晶圆盘升降机
(1) 带有用于装放 8" 和 12 " 晶圆盘盒交换板的晶圆盘单元
(2) 马达
(3) 带有保护盖的晶圆交换器
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使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.3 SWS 的模块说明
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4.3.7.2 晶圆交换器
根据装配位置不同 （2 号和 4 号或 1 号和 3 号）使用两种不同版本的晶圆交换器。
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图 4.3 - 12 主要夹持器模块 （2 号、4 号位置）
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(1) 夹持器 (2) 齿形带轴
(3) 条形码扫描仪 （可选）的安装位置 (4) 保护盖下方的 AD-MOT 板
(5) 带耦合的马达
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