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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 250 安装行程环 4 4 图 4.5 - 16 晶圆支撑 - 安装 行程环 插入行程环 (1)。 将四个弹簧 (3) 插入至四个孔中。 将四个固定盘 (2) 安 装就位。 使用紧固螺钉 (4) 将固定盘固定 …
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑） 4
使用 4 颗螺钉将盖板安装到晶圆支撑上。
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图 4.5 - 15 晶圆支撑 - 安装盖板
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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安装行程环 4
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图 4.5 - 16 晶圆支撑 - 安装行程环
插入行程环 (1)。
将四个弹簧 (3) 插入至四个孔中。
将四个固定盘 (2) 安装就位。
使用紧固螺钉 (4) 将固定盘固定就位。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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安装下按装置板 4
图 4.5 - 17 晶圆支撑 - 取下下按装置板
将起吊活塞与辅助工具 (2) 对齐，这样开口就会朝向外口。
将从 12" 改装套件中取出的下按装置板放置于晶圆支撑中。
将圆锥形固定盘 (3) 插入到孔中。
使用螺钉将下按装置板拧上，但不要过紧。
将辅助工具 (4) 插入到开口中并用内部的起吊活塞固定就位。
将两个下按装置板 (5) 上的全部 4 个螺钉 (1) 拧紧。
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