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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 243 将夹具松开 4 图 4.5 - 8 晶圆支撑 - 将夹具松开 取下夹具 (1) 上轴 (2 ) 的弹性挡圈。 松开夹具的钩子，这样夹持杆 (3) 便可不受限制 (4)。 1 2 4 3
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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4.5.7.3 取下 8" 晶圆支撑
取下下按装置板 4
您需要更换相关晶圆支撑的下按装置板。
图 4.5 - 7 晶圆支撑 - 取下下按装置板
将用于固定起吊活塞 (2) 的辅助工具插入开口中并从内部固定活塞。
将两个下按装置板 (5) 上的全部 4 个螺钉 (1) 逐个拧松。
将圆锥形固定盘 (3) 取下。为了随后的安装，您应确保这些部件的安全。
取下两个下按装置板 (4)。
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使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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将夹具松开 4
图 4.5 - 8 晶圆支撑 - 将夹具松开
取下夹具 (1) 上轴 (2) 的弹性挡圈。
松开夹具的钩子，这样夹持杆 (3) 便可不受限制 (4)。
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取下行程环 4
您需要更换相关晶圆支撑的行程环。
图 4.5 - 9 晶圆支撑 - 取下行程环
将固定行程环的 4 个螺钉 (1) 拧松。
将固定盘 (2) 与弹簧 (3) 取下。请确保用于随后重新安装的固定盘 (2) 与弹簧 (3) 的安全。
将两个传感器 (4) 从线缆延长 (6) 的连接器 (5) 中拔出。
取下行程环。
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